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臭氧實驗裝置一站式服務(wù)平臺
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日本住友SGX系列半導(dǎo)體用臭氧水生產(chǎn)設(shè)備? SGX-1G21SNC

型號：SGX-1G21SNC
品牌：日本住友
臭氧濃度：0-150ppm
臭氧產(chǎn)量：150ppm
使用氣源：氧氣源
產(chǎn)地：日本
冷卻方式：水冷
設(shè)備尺寸：定制
整機(jī)重量：20~100Kg
推薦指數(shù)：comment rank 5
購機(jī)說明：
提前了解實驗要求，才能更好的為您推薦合適的實驗機(jī)型。咨詢在線客服或致電：010-82461830，謝謝~
支持定制，滿足實驗需求
配件完善，安裝如此簡單
順豐快遞，包裝配送無憂
視頻指導(dǎo)，問題及時解決
產(chǎn)品分類樹

產(chǎn)品詳情

實驗現(xiàn)場

臭氧知識

參考文獻(xiàn)

住友的潔凈臭氧水制造設(shè)備是將潔凈臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體溶解于超純水中，生成臭氧水的裝置。
更大限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出，在半導(dǎo)體、液晶等電子設(shè)備材料的制造過程中，用于去除有機(jī)物、表面改性等用途，得到眾多客戶的高度評價評價。。
 
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體
各種晶圓
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
硬盤
 
SGX-1G21SNC規(guī)格
臭氧水濃度：5至100ppm
臭氧水流量：1 至 120 升/分鐘
臭氧水供給壓力：max.0.25MPa
原料氣：氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）
電源：AC200V 三相


SGX-1B11SN規(guī)格
臭氧水濃度 5至150ppm
臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘
原料氣 氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）
電源 AC200V 三相

SGXG規(guī)格
臭氧水濃度：5-30ppm
臭氧水流量：1 至 60 升/分鐘
原料氣：氧氣（二氧化碳作為濃度衰減的對策）
電源：AC200V 三相
 
特征
能夠處理高濃度和大流量
占地面積小，結(jié)構(gòu)緊湊
低廉的運行成本（低功耗、更換部件少、放電電池壽命長）
高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池
快速啟動和出色的集中響應(yīng)能力
通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實現(xiàn)出色的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL 認(rèn)證，符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
停機(jī)時無需維護(hù)
也可提供不含硝酸的臭氧水
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