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3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平,它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見,本機(jī)具有足夠的安全措施。
優(yōu)勢:
●超高純臭氧制備●臭氧濃度高于99.5%●液化池容積限制設(shè)計●安全閥設(shè)計●急停設(shè)計
產(chǎn)品特點(diǎn)● 全金屬密封臭氧液化池● 無硅膠吸附劑● 閉循環(huán)制冷機(jī)自動控溫● 提純速度快,準(zhǔn)備時間只需30分鐘;提純1小時,能產(chǎn)出約4標(biāo)升高純臭氧氣體,可滿足大部分用戶十小時以上的生長需求● 設(shè)計緊湊● 操作簡便,即起即停● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域:化學(xué)氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。
臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性
日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)
將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后,生成99.99%濃度臭氧。可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理
臭氧應(yīng)用
與科研用高濃度高純度臭氧發(fā)生器(液化型)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場
Q:如何提高臭氧在水中溶解度
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Q:臭氧催化氧化對固定床蒸氨脫酚廢水COD去除效果研究
A:0 引 言 固定床氣化技術(shù)成熟、投資低且甲烷產(chǎn)量高,使其成為天然氣制備的主要技術(shù),但也產(chǎn);
Q:高效穩(wěn)定的協(xié)同除污染,自清潔N-rGO催化臭氧膜
A:背景介紹 非均相臭氧氧化技術(shù)的快速發(fā)展為飲用水和廢水中多種污染物的去除奠定了道路,例;
Q:處理高COD、高含鹽、難生化的金剛烷胺制藥廢水實(shí)驗(yàn)方法
A:處理高 COD、高含鹽、難生化的金剛烷胺制藥廢水實(shí)驗(yàn)方法 金剛烷胺是近年來廣泛使用的抗流感;
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A:逆流萃取+臭氧氧化聯(lián)合工藝處理油基巖屑效果研究 為解決頁巖氣開采過程中產(chǎn)生的油基巖屑的;
Q:臭氧催化氧化技術(shù)在煤化工含鹽廢水深度處理中的應(yīng)用
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